（一）光路系统的维护保养
1、反射镜用久之后会被加工所产生的烟尘污染，降低反射率，影响激光的输出，必须保持清洁，定期检查。可采用无水乙醇或专用镜片清洁液，用脱脂棉小心擦净即可。注意尽量避用利物划伤反射镜表面。
2、聚焦镜内的聚焦镜片下表面也可能会被工件挥发物污染。当其被污染后，同样也会大大影响激光的输出。加工时一定要注意排烟和吹气保护，尽量避免聚焦镜被污染，若污染严重可采取如下方法小心清洁：
（1）卸下吹气管和压圈及保护套筒，小心取下聚焦镜
（2）用吹气球吹去聚焦镜表面的浮尘；
（3）用镊子小心夹住脱脂棉球蘸取无水乙醇或专用镜片清洁剂轻轻擦拭，要从内到外朝一个方向轻轻擦拭（如下图），每擦一次，需更换脱脂棉球，直到污物去掉后为止。
注意：不允许来回擦，更不可被利物划伤，由于透镜表面镀有增透膜，膜层损伤将会极大影响激光能量输出。
（二）运动机构的维护保养
1、设备机壳、激光电源、计算机电源必须良好接地，应定期检查接地螺丝有无锈蚀或松脱，及时清洁并紧固。
2、运动部分如小车滑轮及滑道、直线导轨如果被污染或锈蚀，将直接影响加工效果，应定期清洁，并在导轨处涂上润滑油，以防生锈。
3、蜂巢状平台用久后（特别是切割）会粘上加工废料甚至会堵塞蜂巢孔，遇激光照射可能会冒烟甚至燃烧，应定期清除。
4、注意排烟口和排风管道不可堵塞，随时检查并去除遮挡物以保持畅通。
5、冷却水要注意保持清洁并定期更换。加工时应随时检查水位是否足够，水温是否过高。
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